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本型號小型等離子濺射儀，采用二級濺射方式，廣泛用于SEM樣品制備或金屬鍍膜試驗。采用低溫等離子體濺射工藝，鍍膜過程中無高溫，不易產生熱損傷。該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統，全部觸摸屏操作，便于學習使用。本型號儀器還配有旋轉樣品臺，能夠有效的提升鍍膜的均勻性。（本設備配有旋轉加熱樣品臺，可以提升鍍膜的均勻性和薄膜的附著力）該小型等離子濺射儀使用PLC控制系統，全部觸摸屏操作，便于學習使用。
技術參數：
產品名稱
三靶等離子濺射鍍膜儀（增強型）
產品型號
CY-PLZ180-III-DC-Q
樣 品 臺
尺寸
100mm
旋轉速度
1~20rpm可調
加熱溫度
≤500℃
控溫精度
±1℃ PID控溫
等離子濺射靶
數量
2英寸x3
冷卻方式
水冷
真空腔體
腔體尺寸
φ180mm X 200mm
觀察窗口
全向可視
腔體材料
高純石英
開啟方式
頂蓋拆卸式
上下蓋材質
304不銹鋼
抽氣接口
KF25
進氣接口
1/4英寸卡套接頭
電源配置
數量
直流電源x1
輸出功率
*大150W
濺射電源
3000V
*大濺射電流
50mA
真空系統
真空泵類型
雙極旋片真空泵
抽氣接口
KF25
排氣接口
KF16
抽氣速率
1.1L/s（4m3/h）
極限真空度
≥0.1Pa
真空測量
電阻真空規
其 他
供電電源
AC 220V 50Hz
整機功率
2kW
整機尺寸
550mm X 450mm X550mm
整機重量
30kg
