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技術參數：
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產品名稱 |
三靶等離子濺射鍍膜儀（標準型） |
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產品型號 |
CY-PLZ180-III-DC-Q |
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樣 品 臺 |
尺寸 |
100mm |
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旋轉速度 |
1~20rpm可調 |
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等離子濺射靶 |
數量 |
2英寸x3 |
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冷卻方式 |
自然冷卻 |
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真空腔體 |
腔體尺寸 |
φ180mm X 210mm |
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觀察窗口 |
全向可視 |
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腔體材料 |
高純石英 |
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開啟方式 |
頂蓋拆卸式 |
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上下蓋材質 |
304不銹鋼 |
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抽氣接口 |
KF16 |
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進氣接口 |
1/4英寸卡套接頭 |
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電源配置 |
數量 |
直流電源x1 |
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輸出功率 |
*大150W |
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濺射電源 |
1200V |
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*大濺射電流 |
50mA |
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真空系統(tǒng) |
真空泵類型 |
雙極旋片真空泵 |
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抽氣接口 |
KF16 |
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排氣接口 |
KF16 |
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抽氣速率 |
1.1L/s（4m3/h） |
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極限真空度 |
≥1Pa |
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真空測量 |
電阻真空規(guī) |
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其 他 |
供電電源 |
AC 220V 50Hz |
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整機功率 |
1.5kW |
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整機尺寸 |
500mm X 320mm X470mm |
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整機重量 |
30kg |
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