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            產(chǎn)品詳情
            • 產(chǎn)品名稱:桌面型磁控濺射鍍膜儀下置靶槍

            • 產(chǎn)品型號(hào):CY-MSZ254-I-DC-SS
            • 產(chǎn)品廠商:成越科儀
            • 產(chǎn)品文檔:
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            簡(jiǎn)單介紹:
            磁控濺射鍍膜儀是一種先進(jìn)的物**相沉積設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、顯示技術(shù)和表面工程等領(lǐng)域。該設(shè)備采用磁控濺射技術(shù),通過(guò)磁場(chǎng)增強(qiáng)離子化效率,從而實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、均勻的薄膜沉積
            詳情介紹:
            磁控濺射鍍膜儀是一種先進(jìn)的物**相沉積設(shè)備,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、顯示技術(shù)和表面工程等領(lǐng)域。該設(shè)備采用磁控濺射技術(shù),通過(guò)磁場(chǎng)增強(qiáng)離子化效率,從而實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量、均勻的薄膜沉積。

            磁控濺射鍍膜儀產(chǎn)品特點(diǎn):

             高效鍍膜:采用磁控濺射技術(shù),沉積速率高,薄膜均勻性好。
             多功能應(yīng)用:支持多種靶材和基材,適用于不同材料的薄膜沉積。
            智能控制:配備先進(jìn)的控制系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的工藝參數(shù)控制。
            模塊化設(shè)計(jì):方便維護(hù)和升級(jí),可根據(jù)需求定制各種功能模塊。

            環(huán)境友好:低能耗設(shè)計(jì),減少對(duì)環(huán)境的影響。

            磁控濺射鍍膜儀技術(shù)參數(shù):

            參數(shù)名稱

            參數(shù)說(shuō)明

            產(chǎn)品名稱

            桌面型磁控濺射鍍膜儀下置靶

            產(chǎn)品型號(hào)

            CY-MSZ254-I-DC-SS

            真空腔

            腔體材質(zhì)

            304不銹鋼焊接而成,表面做拋光處理

            取放模式

            前開門方式取放樣品和靶材

            觀察窗

            直徑100mm真空窗口,配有磁力擋板,防止污染

            樣品臺(tái)

            樣品尺寸

            直徑≦100mm的平面樣品均可

            旋轉(zhuǎn)速度

            不旋轉(zhuǎn)和旋轉(zhuǎn)型(0-30RPM)可選

            加熱溫度

            RT-500;RT-800;RT-1000℃可選

            磁控靶

            靶槍類型

            普通永磁靶,可調(diào)角度

            靶材尺寸

            直徑2英寸,厚度≦3mm,

            濺射功率

            300W

            濺射方式

            直流濺射

            工作真空

            0.3-3Pa

            電源

            直流電源 300W *2

            濺射氣體

            高純氬氣,純度99.99%

            真空測(cè)量

            復(fù)合真空計(jì),電阻規(guī)+電離規(guī),測(cè)量范圍:105-10-5Pa

            真空獲取

            前級(jí)泵

            抽速 1.1L/S

            分子泵

            抽速  600L/S

            膜厚測(cè)量

            通常配CYKY膜厚測(cè)量?jī)x

            也可選配進(jìn)口品牌,價(jià)格額外計(jì)算

            外形尺寸

            550mm*350mm*450mm

            包裝尺寸

            770×720*730mm

            包裝重量

            110 KG

            豫公網(wǎng)安備 41019702002438號(hào)

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