產品名稱：非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀

非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀產品用途：

非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀是一種優良且具有成本效益的涂膜機，用于研發非導電材料薄膜。

非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀技術規格：

項目		明細
產品型號		CY-MSH300-III-DCDCRF-SS
供電電壓		AC220V，50Hz
整機功率		6KW
系統真空		≦5×10-4Pa
樣品臺	外形尺寸	φ185mm
	加熱溫度	≦500℃
	控溫精度	±1℃
	可調轉速	≦20rpm
磁控靶槍	靶材尺寸	直徑Φ50.8mm，厚度≦3mm
	冷卻模式	循環水冷
	水流大小	不小于10L/Min
真空腔體	腔體尺寸	直徑φ300mm，高度500mm
	腔體材質	SUU304不銹鋼
	觀察窗口	直徑φ100mm
	開啟方式	頂開式
氣體控制		1路質量流量計用于控制Ar流量，量程為:200SCCM
真空系統		配分子泵系統1套，氣體抽速600L/S
膜厚測量		可選配石英晶體膜厚儀，分辨率0.10 ?
濺射電源		直流電源500W*2,射頻電源500W
控制系統		CYKY自研專業級控制系統
設備尺寸		600mm × 650mm × 1280mm
設備重量		350kg

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