產(chǎn)品名稱：帶過渡艙三靶磁控濺射鍍膜儀

項(xiàng)目

明細(xì)

產(chǎn)品型號

CY-MSH325G-III-DCDCRF-SS

供電電源

VAC 110, 60Hz

樣品臺

位置

下部，帶擋板

直徑尺寸

φ150mm

可調(diào)轉(zhuǎn)速

0-20rpm 可調(diào)

加熱溫度

RT~500^oC

真空腔體

腔體尺寸

φ325xH510mm

腔體材料

304 不銹鋼

內(nèi)壁處理

電解拋光

密封方式

氟橡膠密封

觀察窗口

φ100mm（帶擋板）

磁控靶槍 

數(shù)量

3

擺頭角度

可調(diào)角度 -45~45 度

濺射方向

向下濺射

靶材平面

圓形平面靶

靶材直徑

2英寸

靶材厚度

*厚3mm

直流電源

數(shù)量

2臺

電源功率

0~500W

輸出電壓

0～600V

*大輸出電流

1A

啟動時間

1~10S

射頻電源

數(shù)量

1臺

電源功率

0~500W

射頻頻率

13.56MHz

匹配方式

自動匹配

反射功率

≦100W

功率穩(wěn)定性

±0.1%

膜厚監(jiān)測儀

通道數(shù)

單通道

測量精度

0.1 ?

測量速度

100ms-1s/次，可設(shè)置測量范圍：500000?（鋁）

標(biāo)準(zhǔn)傳感器晶體

6MHz

適用晶片尺寸

Φ14mm

真空系統(tǒng)

前級泵

雙極旋片泵，抽速1.1L/s

渦輪分子泵

抽速600L/s

額定轉(zhuǎn)速：27000rpm

啟動時間：≦5min

冷卻方式：水冷

真空度

5x10^-4Pa

真空測量

復(fù)合真空計(jì)，測量范圍10^-5Pa ~ 10⁵ Pa

過渡倉

腔體尺寸要適用于*大4英寸的晶圓

配備分子泵組：

前級泵：VRD-4，抽速1.1L/s

分子泵：日本TG60F，抽速60L/s

水冷機(jī)

冷卻水流速

10L/min

整機(jī)功率

0.1KW

冷卻功率

50W/℃

水箱容量

9L

氣體控制

1路質(zhì)量流量計(jì)：Ar氣，范圍0-200sccm

控制系統(tǒng)

CYKY自研專業(yè)級控制系統(tǒng)