- 磁控濺射鍍膜儀
- 熱蒸發鍍膜儀
- 高溫熔煉爐
- 等離子鍍膜儀
- 可編程勻膠機
- 涂布機
- 等離子清洗機
- 放電等離子燒結爐
- 靜電紡絲
- 金剛石切割機
- 快速退火爐
- 晶體生長爐
- 真空管式爐
- 旋轉管式爐
- PECVD氣相沉積系統
- 熱解噴涂
- 提拉涂膜機
- 二合一鍍膜儀
- 多弧離子鍍膜儀
- 電子束，激光鍍膜儀
- CVD氣相沉積系統
- 立式管式爐
- 1200管式爐
- 高溫真空爐
- 氧化鋯燒結爐
- 高溫箱式爐
- 箱式氣氛爐
- 高溫高壓爐
- 石墨烯制備
- 區域提純爐
- 微波燒結爐
- 粉末壓片機
- 真空手套箱
- 真空熱壓機
- 培育鉆石
- 二硫化鉬制備
- 高性能真空泵
- 質量流量計
- 真空法蘭
- 混料機設備
- UV光固機
- 注射泵
- 氣體分析儀
- 電池制備
- 超硬刀具焊接爐
- 環境模擬試驗設備
- 實驗室產品配件
- 實驗室鍍膜耗材
- 其他產品
等離子清洗機(plasma cleaner)，是一種全新的高科技技術，利用等離子體來達到常規清洗方法無法達到的效果。等離子體是物質的一種狀態，也叫做物質的第四態，并不屬于常見的固液氣三態。對氣體施加足夠的能量使之離化便成為等離子狀態。等離子體的“活性”組分包括：離子、電子、原子、活性基團、激發態的核素（亞穩態）、光子等。等離子清潔機就是通過利用這些活性組分的性質來處理樣品表面，從而實現清潔、涂覆等目的
5L等離子清洗機 電容耦合特點：
腔體可利用面積大，起輝均勻，可清洗6英寸硅片。
5L等離子清洗機電容耦合技術參數：
|
主要部件 |
指標名稱 |
參數指標 |
|
清洗倉體 |
清洗倉材質 |
SS304 |
|
清洗倉尺寸 |
200x160x240mm |
|
|
耦合方式 |
電容耦合 |
|
|
射頻電源 |
電源特性 |
該電源為全固態射頻電源，采用高穩定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質量的電子元器件，使產品的可靠性得以保證。 |
|
電源優勢 |
●可長時間正常運行
● 電源效率高、發熱少 |
|
|
射頻功率 |
0~300W連續可調 |
|
|
信號頻率 |
13.56MHz ±0.005% |
|
|
反射功率 |
≤100W |
|
|
功率穩定度 |
±0.1% |
|
|
射頻接頭 |
N型頭 |
|
|
整機效率 |
≥75% |
|
|
諧波分量 |
≤-50 dBc |
|
|
冷卻方式 |
強制風冷 |
|
|
氣體測量 |
測量部件 |
兩路質量流量計 Ar 0~200sccm； O2 0~200sccm 可定制 其他參數參考之前的產品 |
|
氣體通道 |
兩通道 |
|
|
A通道量程 |
10～100ml |
|
|
B通道量程 |
16～160ml |
|
|
真空獲取 |
真空測量 |
數字真空計（電阻規） |
|
真空抽取 |
雙極旋片泵 |
|
|
電機轉速 |
50Hz時為：1440；60Hz時為：1720。 |
|
|
抽氣速率 |
50Hz時為：240L/Min；60Hz時為：288L/Min。 |
|
|
真空量程 |
0.1Pa～10000Pa |
|
|
極限真空 |
0.5Pa |
|
|
電機噪音 |
≤56dB |
|
|
管道接口 |
進氣口：KF16;排氣口KF16. |
|
|
連接管道 |
KF16真空波紋管 |
|
|
真空閥門 |
KF16球閥 |
|
|
電機功率 |
400W |
|
|
其它 |
供電電源 |
AC220V 50/60Hz |
|
整機功率 |
800W |
|
|
使用溫度 |
-10℃ -- 40℃ |
|
|
工作真空 |
≤40Pa |
|
|
整機尺寸 |
600mmX650mmX560mm |
|
|
整機重量 |
80kg（含包裝） |
|
