產品名稱：1L等離子清洗機13.56MHz

產品介紹：

      1L等離子清洗機13.56MHz采用純凈的石英腔體，主機頻率13.56MHz，可用于多種材料的高效清洗。清洗效果遠遠優于40KHz的低頻清洗。臺式高效等離子清洗機可用于手機屏幕、儀表屏幕等精密部件的高效清洗，也可用于材料表面的親水性處理。1L等離子清洗機13.56MHz是材料制備過程中****的理想產品。

使用范圍：

（1）表面清洗

       材料表面嘗嘗會有油脂、油污等有機物及氧化層，在粘合、焊接前，需要用等離子處理來得到完全潔凈和無氧化層的表面。適用于金屬、玻璃、陶瓷燈多種材料。

（2）表面活化

      塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚四氟（PTFE）等一樣是沒有極性的，因此這些材料在印刷、粘合、涂覆前要進行處理。在惰性材料表面生成活性基團，增強表面極性，提高表面能。等離子處理與灼燒處理相比，不會損害樣品，同時還可以十分均勻地處理整個表面，不會產生有毒煙氣，盲孔和帶縫隙的樣品也可以處理。

（3）表面刻蝕

       在等離子刻蝕過程中，通過處理　氣體的作用，被刻蝕物會變成氣化物（例如在使用氟氣對硅刻蝕時）。處理　氣體和基體氣化物質被真空泵抽出，表面連續被新鮮的處理　氣體覆蓋。無需刻蝕部分應使用相應材料覆蓋起來（例如半導體行業用鉻做覆蓋材料。）

（4）表面接枝與聚合

       在等離子體表面活化產生的基團或等離子體引發聚合層不能與材料表面牢固結合時，采用等離子體接枝的方法來改善。等離子體接枝的原理為：首先利用表面活化在材料表面產生新的活性基團，利用此基團與后續的活性物質產生化學共價鍵結合，后續的活性物質中帶有能夠滿足應用的特定基團，以達到既能滿足表面特性又能牢固結合的目的。

主要參數：

主要部件	指標名稱	參數指標
清洗倉體	清洗倉材質	高純石英
	清洗倉尺寸	直徑100mm;長度270mm
射頻電源	電源特性	該電源為全固態射頻電源，采用高穩定高可靠的功放模塊和直流模塊，有效保障了電源的射頻功率輸出。采用高質量的電子元器件，使產品的可靠性得以保證。
	電源優勢	●可長時間正常運行 ● 操作簡單靈活 ● 電源效率高、發熱少 ● 具有完善的反射功率保護功能
	射頻功率	0~300W連續可調
	信號頻率	13.56MHz ±0.005%
	反射功率	≤100W
	功率穩定度	±0.1%
	射頻接頭	N型頭
	整機效率	≥75%
	諧波分量	≤-50 dBc
	冷卻方式	強制風冷
氣體測量	測量部件	浮子流量計
	氣體通道	兩通道
	A通道量程	10～100ml
	B通道量程	16～160ml
真空獲取	真空測量	數字真空計（電阻規）
	真空抽取	雙極旋片泵
	電機轉速	50Hz時為：1440；60Hz時為：1720。
	抽氣速率	50Hz時為：240L/Min；60Hz時為：288L/Min。
	真空量程	0.1Pa～10000Pa
	極限真空	0.5Pa
	電機噪音	≤56dB
	管道接口	進氣口：KF16;排氣口KF16.
	連接管道	KF16真空波紋管
	真空閥門	KF16球閥
	電機功率	400W
其它	供電電源	AC220V 50/60Hz
	整機功率	800W
	使用溫度	-10℃ -- 40℃
	工作真空	≤40Pa
	整機尺寸	540mmX650mmX440mm
	整機重量	58kg（含包裝）

產品特點：

1) 采用觸摸屏控制，輸出功率連續可調；
2) 可實現定時關機；
3) 實時真空壓力檢測；
4) 輸出功率實時檢測，無輸出報警。

等離子體產生原理：

在真空狀態下（約10~100Pa）,給氣體施加電場，氣體在電場提供的能量下會由氣態轉變為等離子體狀態（也成物質的第四態）。其中含有大量的電子、離子、光子和各類自由基等活性粒子。等離子體表面改性技術就是利用這些高能粒子和活性粒子與材料表面發生物理或化學的反應，從而達到改變材料表面性質的目的。

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